真空機(jī)組是由多臺(tái)真空泵及附件組成的成套真空獲得設(shè)備。機(jī)組中一般有粗抽泵(預(yù)抽泵)、前級(jí)泵、主抽泵和維持泵。

粗抽泵從大氣壓開(kāi)始降低系統(tǒng)壓力，一直運(yùn)行到另一抽氣泵可以開(kāi)始工作。前級(jí)泵是用來(lái)維持另一個(gè)真空泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空泵，前級(jí)泵也可以作為粗抽泵用。有些真空泵對(duì)前級(jí)壓力有要求，必須配前級(jí)泵，以維持其前級(jí)壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開(kāi)始工作，必須配粗抽泵，達(dá)到預(yù)真空要求才能開(kāi)始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴(kuò)散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級(jí)泵才能正常工作。

主抽泵(主泵)是機(jī)組中抽速大、真空度高的真空泵，是真空機(jī)組獲得高真空度的真空泵。對(duì)于主泵來(lái)說(shuō)，其他泵都可以算作其前級(jí)泵。

真空機(jī)組中有時(shí)氣體量很小，不能有效利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級(jí)泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱為維持泵。維持泵的使用主要是從經(jīng)濟(jì)環(huán)保的角度考慮的。

真空機(jī)組各組成泵之間取長(zhǎng)補(bǔ)短、相互配合，在抽速和極限真空上都比單個(gè)的真空泵有很大提高。根據(jù)需要還可以啟動(dòng)不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。

從使用方便、安全角度出發(fā)，真空機(jī)組一般都配有真空閥門、充氣閥、波紋管、機(jī)架、冷卻水管路、斷水保護(hù)、真空繼電器、電器控制設(shè)備等。

常用的真空機(jī)組有：羅茨水環(huán)真空機(jī)組，羅茨旋片真空機(jī)組，羅茨螺桿真空機(jī)組等。

羅茨螺桿真空機(jī)組是由羅茨泵作為機(jī)械增壓泵與初級(jí)泵串聯(lián)而成。羅茨泵是一種外壓縮、雙轉(zhuǎn)子容積式真空泵，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵腔壁無(wú)接觸，故可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)，且不必潤(rùn)滑，以實(shí)現(xiàn)無(wú)油抽氣過(guò)程。螺桿泵屬于內(nèi)壓縮、容積式真空泵，工作時(shí)分為吸氣、壓縮、排氣三個(gè)過(guò)程。

羅茨螺桿真空機(jī)組具有以下優(yōu)勢(shì)：

1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，占地面積小。

2.耗水少，無(wú)需水處理設(shè)施。

3.無(wú)高壓蒸汽以及鍋爐系統(tǒng)等危險(xiǎn)源。

4.從大氣壓到工藝真空，性能曲線平滑、連續(xù)可控，且在67Pa附近抽速穩(wěn)定。

5.運(yùn)行成本較低，節(jié)能*。

羅茨螺桿真空機(jī)組適合于醫(yī)藥，化工，電子等行業(yè)中需求環(huán)保，清潔的應(yīng)用工藝。