干式螺桿真空泵主要采用一對(duì)螺桿，其特點(diǎn)是兩個(gè)螺桿由精細(xì)動(dòng)平衡校正，軸承支撐，安裝在泵殼內(nèi)，螺桿與螺桿之間有一定間隙，這樣就制成了干式螺桿真空泵。工作時(shí)，彼此之間沒有摩擦，操作穩(wěn)定，噪音低，工作室不需要潤(rùn)滑油，干式螺桿泵可以去除含有大量水蒸氣和少量的氣體灰塵，極端真空度更高。但是，中國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。

干式螺桿真空泵，使用一對(duì)螺桿在泵殼內(nèi)進(jìn)行吸入和排出動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)同步高速反向旋轉(zhuǎn)。它的優(yōu)點(diǎn)彌補(bǔ)了缺少油封真空泵的問題，我們都稱之為升級(jí)版的油封真空泵。然而，干式螺桿真空泵的成本也是其缺點(diǎn)，然后主要介紹其優(yōu)缺點(diǎn)。

干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)：

1.工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工作環(huán)境

2，氣體不在泵內(nèi)壓縮，適用于提取可冷凝氣體

3，無油耗，無滴水

4.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。

5，泵送氣體直接從泵體排出，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更方便。

干式螺桿真空泵的缺點(diǎn)：

1.由于螺桿泵的加工困難，我國(guó)使用的螺桿泵主要依賴進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。

2.不適合抽吸爆炸性氣體。

3.它不適合去除含氧氣體。

隨著中國(guó)工業(yè)界的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)，液晶顯示器等工藝制造中，對(duì)潔凈真空環(huán)境的要求越來越高，傳統(tǒng)的油真空泵還沒有達(dá)到這樣的要求。螺桿式干式真空泵因其抽速范圍廣，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，泵腔部件無摩擦，壽命長(zhǎng)，能耗低，無油污等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于制造和應(yīng)用單元。真空泵市場(chǎng)起著重要作用。在歐洲，美國(guó)和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家，螺桿式干式真空泵在許多領(lǐng)域越來越多地取代傳統(tǒng)的充油泵。