干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)*選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。

作為抽氣設(shè)備的真空泵，隨著工業(yè)需求的不同，有各種方式的真空泵，二十世紀(jì)主導(dǎo)這一技術(shù)范疇的產(chǎn)品是油光滑和密封的泵，這類泵排出油霧，嚴(yán)重地污染了環(huán)境；只要少數(shù)工業(yè)的特殊需求，才采用無油泵類或水環(huán)式泵類(濕式泵)，這類泵的真空度不高，耗水耗能嚴(yán)重，有干式請求的，不得不采用繁瑣的物理、化學(xué)吸附，冷凝低溫手腕，本錢很昂貴，如膜式泵，真空度不高，抽速小，吸附泵，不只抽速小，液氮的費(fèi)用很大，總之能直接排入大氣和高真空機(jī)組銜接的泵類是各有缺憾，干式泵不適合大工業(yè)應(yīng)用，直到二十世紀(jì)的80年代，一種爪式泵類問世，但抽速難以做大，制造難度大、本錢高；另外還有應(yīng)用多葉級數(shù)停止串聯(lián)的羅茨泵，其缺陷和爪式泵一樣。

干式螺桿真空泵是一種容積泵，應(yīng)用一對螺桿轉(zhuǎn)子在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用，主要應(yīng)用于高純潔的真空工藝過程，真空度極高，可順應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的才能，特別適用于電子、化工、生物醫(yī)藥、金屬加工、食品加工等范疇。

螺桿真空泵工作時(shí)，由于兩個(gè)轉(zhuǎn)子相對高速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間必需留有一定的間隙以免發(fā)作摩擦。而螺桿真空泵在運(yùn)用過程中，排氣溫度十分高，這也招致了螺桿真空泵的溫度十分高，形成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙會(huì)產(chǎn)生變化，影響抽氣效果，嚴(yán)重的會(huì)使其發(fā)作摩擦，* 后燒結(jié)卡殼。