滑閥式油封機械泵(簡稱滑閥式真空泵或滑閥泵)同旋片泵一樣,也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵?;y式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結(jié)構(gòu)不同?;y式真空泵是利用滑閥機構(gòu)來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵?;y泵亦分單級泵和雙級泵兩種,有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。單級泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2 ~10-1 Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用,也可作其它泵的前級泵用。
滑閥式真空泵的工作原理:
滑閥泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。
雙級型的滑閥泵,實際上是由兩個單級泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上,有的是直接鑄成一個整體,有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心,如果滑很好的質(zhì)量平衡,在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線,因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡,減少泵的振動一直是滑閥泵需要解決的一個重要課題。
滑閥泵雖然是一種老泵,但與旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高、抽氣量大、能在較惡劣環(huán)境下連續(xù)工作,經(jīng)久耐用等突出優(yōu)點,所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。