無油干式真空泵與油式機(jī)械泵的比較說明

2021-10-18 08:51:46

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無油干式真空泵（又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

無油干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

今天中發(fā)科泵業(yè)小編來講講無油干式真空泵與油式機(jī)械泵(旋片泵、滑閥泵)的比較說明

與油式機(jī)械泵(旋片泵、滑閥泵)比較：

1.旋片及滑閥泵極限真空高，一般能達(dá)到在0.1Pa,如果工藝極限真空要求較高，可以用干式螺桿真空泵串聯(lián)一級(jí)羅茨泵達(dá)到此真空。

2.油式機(jī)械泵不能抽含有水汽大及有腐蝕性的介質(zhì)，否則油容易乳化變質(zhì)影響真空及壽命。

3.油式機(jī)械泵不能抽含粉塵介質(zhì)，否則會(huì)造成泵磨損。由于機(jī)械泵屬于有摩擦運(yùn)行，及時(shí)抽吸干凈氣體介質(zhì)，在運(yùn)行多年后，各方面配合間隙加大，極限真空會(huì)有下降。

4.油式泵的噪音，油煙的排放，真空油的消耗越來不符合環(huán)保節(jié)能要求。

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