滑閥真空泵（簡稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變容式氣體傳輸泵，但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。羅茨滑閥真空機組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥；航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。

滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關氣鎮(zhèn)）。雙極2H滑閥真空泵*大抽速為300L/S。由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質量平衡，在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡?？梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。

滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同?；y式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵?；y泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高、抽氣量大、能在較惡劣環(huán)境下連續(xù)工作，經久耐用等突出優(yōu)點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應用。

目前真空行業(yè)中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。旋片泵在較臟的工作條件下，旋片泵在轉子槽中卡住。盡管滑閥泵對這一缺點有一定程度的克服，但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值，雖然在結構上采取了一些動平衡措施，但尚不能達到完全平衡，故振動難以完全消除。尤其泵的容量越大，振動亦更大。同時上述兩種泵，特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。