螺桿真空泵是一種利用一對螺桿在泵殼內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)的吸排氣設備，是油封真空泵的更新產(chǎn)品，能抽出含有大量水蒸氣和少量灰塵的氣體，廣泛應用于國內(nèi)對潔凈真空要求較高的制藥、化工、半導體企業(yè)。

螺桿真空泵的用途：兩個螺桿經(jīng)過精密動平衡校準，由軸承支撐，安裝在泵殼內(nèi)，螺絲之間有一定的間隙。因此泵工作時，它們之間沒有摩擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低，工作腔內(nèi)不需要潤滑油。因此，干式螺桿泵可以抽出含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，具有極限真空更高、功耗更低、節(jié)能、免維護等優(yōu)點，是油封真空泵的升級版。

螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)：傳動軸與主動轉(zhuǎn)子連接，同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動。殼體設有冷卻水通道，以冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口的溫度。同步齒輪和軸承用油潤滑，軸承和機殼用密封件密封，達到無油效果。干式螺桿真空泵在密封和潤滑方面類似于無油螺桿壓縮機。真空泵的排氣端一般采用機械密封，進氣端一般采用雙唇密封。傳動方式上，一般采用直聯(lián)式電機，通過聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，很少采用皮帶或傳動鏈驅(qū)動。由于等螺距螺桿泵沒有內(nèi)部壓縮過程，所以排氣溫度很高。如果冷卻效果不好，會導致轉(zhuǎn)子和機殼變形，影響泵送效果。冷卻機殼是必不可少的環(huán)節(jié)，水冷是常用的方法。冷卻水可以被引入到殼體和軸承的外部，以冷卻殼體，然后冷卻轉(zhuǎn)子。

各種真空泵的發(fā)展越來越受到真空應用的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔、無油、耐腐蝕的要求。因此，近年來干式真空泵的市場需求非常大，真空產(chǎn)品更新?lián)Q代，大量無油真空系統(tǒng)被無油清潔真空系統(tǒng)所取代，國外幾乎每個大型真空公司都生產(chǎn)各種類型的干式真空泵。螺桿真空泵是一種非接觸式干式泵，是90年代初出現(xiàn)的一種理想的泵型。由于其泵送速度范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、泵送腔部件無摩擦、使用壽命長、能耗低、無油污等優(yōu)點而得到廣泛應用。

干式螺桿真空泵因其優(yōu)越的性能，已成為歐美和日本微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)的優(yōu)選真空獲得設備。日本在螺桿式壓縮機的基礎上，很早就開發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司已經(jīng)逐步開發(fā)出定距和變距的轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了大量的研究。我國也將螺桿真空泵的生產(chǎn)投入批量生產(chǎn)，并在化工、醫(yī)藥行業(yè)得到了很好的應用。